清華大學(xué)紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用課題取得重大突破

　清華大學(xué)等單位共同承擔(dān)的“十二五”863計劃新材料領(lǐng)域“紫外激光器產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”課題取得重要進展，于近日通過技術(shù)驗收。

　　課題組解決了厘米級BBSAG晶體生長、非線性晶體超光滑表面加工、工業(yè)級應(yīng)用的全固態(tài)激光器整機裝配等工藝難點，突破了高光束質(zhì)量紫外頻率變換、非線性光學(xué)晶體的壽命及抗損傷、光束指向穩(wěn)定性等多項關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出10-30W不同功率級別的全固態(tài)紫外激光器和新型的BBSAG四倍頻器件，產(chǎn)品性能達(dá)到國外同類產(chǎn)品水平，形成了一套擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的全固態(tài)紫外激光核心技術(shù)，并實現(xiàn)了紫外激光器在微加工成套設(shè)備上的試用。

　　課題實施期間，BBSAG晶體生長技術(shù)已經(jīng)轉(zhuǎn)移到福建福晶科技股份有限公司，該公司及下屬公司已經(jīng)實現(xiàn)BBSAG晶體的并出口到歐美等發(fā)達(dá)國家。經(jīng)過本課題支持，課題組成功研制出zui大輸出功率達(dá)30W的紫外激光器，各項指標(biāo)均達(dá)到甚至超過光電子公司紫外高功率激光器指標(biāo)水平。該課題成果的產(chǎn)業(yè)化，將打破國外在紫外激光器市場中的壟斷，極大地提升我國激光微加工產(chǎn)業(yè)的核心競爭力。